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sick施克掃描儀 類型類型 3 （IEC 61496） 安全完整性等級 SIL2 （IEC 61508） SILCL2 （EN 62061） 類別類別 3 （EN ISO 13849） 性能等級PL d （EN ISO 13849） PFHD（每小時危險失效率）8.0 x 10-8 （EN ISO 13849） TM（持續運行時間）20 年 （EN ISO 13849）